蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备

蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备位于福建厦门，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额暂未确定。