硅基光电芯片光电综合参数测量系统
项目介绍
硅基光电芯片光电综合参数测量系统位于湖北,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为12285-14850万元。
项目开发晶圆测试台、自动耦合系统、边缘耦合光探针、可调激光器和功率计、光谱扫描测试分析系统、偏振控制仪等,构建硅光晶圆级光电参数测量系统,形成整套面向硅基光电芯片产品级自动化光电测试与筛选解决方案,实...
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