硅基光电芯片光电综合参数测量系统

项目开发晶圆测试台、自动耦合系统、边缘耦合光探针、可调激光器和功率计、光谱扫描测试分析系统、偏振控制仪等，构建硅光晶圆级光电参数测量系统，形成整套面向硅基光电芯片产品级自动化光电测试与筛选解决方案，实现不少于200片硅光晶圆的检测量，向不低于5家用户开展应用推广。