格微追影低温一体化集成成像芯片

该项目拟建设200平方米的洁净间，研发生产新一代高时空分辨X射线平板探测器及产品，可广泛应用于新能源电池和芯片无损检测。包含手套箱、蒸发镀膜系统、半导体器件测试系统、键合机、桌面式XRD等专业设备15台套。项目建成后将成为综合功能性新型钙钛矿材料制备、测试、集成和成像一体化中试平台。