福建某公司电子级特种气体项目配套环保处理设施

项目拟扩建超纯氨装置、超纯氨罐区、超纯氨充装站、配气车间、氟氮混配/激光气混配车间、磷烷混配/砷烷混配车间等生产工艺装置，配套公辅工程和环保设施。
①超纯氨9900吨/年，工业氨（副产品）100吨/年；氨水（副产品）4160吨/年；
②超纯氢气（作为磷烷、砷烷混配气原料）92.3吨/年；超纯氮气其中作为磷烷混配、砷烷混配气原料116.8吨/年，作为氟氮混配气、激光气混配气原料2...