建强金项全国工程立项情报平台

第三代半导体离子注入机项目

审批广东 广州 更新:2024-06-07 07:00:24

项目介绍

第三代半导体离子注入机项目位于广东广州,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为18200-22000万元。

本项目符合《“十四五”国家信息化规划》,项目拟着力研制国产化第三代半导体离子注入机,解决离子源、低能束线、静电吸盘等关键部件的卡脖子问题,建成第三代半导体离子注入机的生产线,实现国产化替代。项目总投资...
项目名称:第三代半导体离子注入机项目
项目名称:第三代半导体离子注入机项目
项目编号:318322
投资金额:18200-22000CNY 万元
所属行业:机械电子电器-机电其他
建设性质:新建
当前阶段:立项
进展描述:备案
资金来源:自筹
业主类型:企事业类
项目等级:审批
所在地区:广东 - 广州
计划开工时间:2024-07-01
更新时间:
建设内容:本项目符合《“十四五”国家信息化规划》,项目拟着力研制国产化第三代半导体离子注入机,解决离子源、低能束线、静电吸盘等关键部件的卡脖子问题,建成第三代半导体离子注入机的生产线,实现国产化替代。项目总投资...
数据来源:建强金项
发布者:建强金项
当前版本号:1