第三代半导体离子注入机项目
项目介绍
第三代半导体离子注入机项目位于广东广州,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为18200-22000万元。
本项目符合《“十四五”国家信息化规划》,项目拟着力研制国产化第三代半导体离子注入机,解决离子源、低能束线、静电吸盘等关键部件的卡脖子问题,建成第三代半导体离子注入机的生产线,实现国产化替代。项目总投资...
🔑 请登录 查看完整项目信息(联系人、环评、进展、附件等)