OP-VECSEL芯片及与其相关的光泵浦激光器研发及产业化项目
项目介绍
OP-VECSEL芯片及与其相关的光泵浦激光器研发及产业化项目位于陕西西安,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为1820-2200万元。
项目拟建设千级洁净间200平米、百级洁净间80平米的研发实验室。项目拟购置设备共10台/套,包含晶圆剪薄抛光设备,电阻蒸发镀膜设备,电子束蒸发镀膜设备,晶圆解理机,真空回流炉,有机清洗设备,推片贴片等...
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