晶圆级微光机电器件研发与中试平台新建项目
项目介绍
晶圆级微光机电器件研发与中试平台新建项目位于广东广州,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为27300-33000万元。
项目建于香山雅苑南区湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城),拟建设总面积3000平方米的微光机电器件研发验证与中试熟化平台,其中超净实验室2700平方米,超算机房300平方米。平台将购置电子束光刻机、...
🔑 请登录 查看完整项目信息(联系人、环评、进展、附件等)