恒格微电子半导体晶圆等离子刻蚀设备，在线等离子除胶系统设备研产基地

恒格微电子半导体晶圆等离子刻蚀设备，在线等离子除胶系统设备研产基地位于广东珠海，属于机械电子电器类项目[电子电器]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为54600-66000万元。