江苏某公司砷化镓晶圆片生产技改项目配套环保处理设施

项目租用晶品光电(常州）有限公司厂房12735平方米，购置步进曝光机、撕金去胶机、原子层沉积仪等设备及设施共49台套，对现有4英寸砷化镓化合物半导体代工线进行升级改造，改造后将形成年产6英寸HBT异质结双机晶圆18000片、6英寸VCSEL垂直腔表面发射激光器6000片的生产能力。