浙江某公司半导体特色工艺研发及产业化项目配套环保处理设施
项目介绍
浙江某公司半导体特色工艺研发及产业化项目配套环保处理设施位于浙江嘉兴,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价,项目计划投资金额暂未确定。
拟投资317698万元,租用南湖区大桥镇新大路232号67651.32㎡厂房,购置光刻机、涂胶显影机、干法刻蚀机、湿法刻蚀机、离子注入、溅射机、PECVD、扩散炉等设备。
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