江苏半导体公司12英寸硅片再生技术、纳米级抛光垫、制程尾气处理设备(LocalScrubber)研发及制造项目配套污水处理设施
项目介绍
江苏半导体公司12英寸硅片再生技术、纳米级抛光垫、制程尾气处理设备(LocalScrubber)研发及制造项目配套污水处理设施位于江苏无锡,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价,项目计划投资金额为45500-55000万元。
建设地点:无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号。
建设内容:建成后全厂生产规模为年产12英寸硅片360万片、制程尾气处理设备(LocalScrubber)800套、纳米级抛光垫6万片。
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建设内容:建成后全厂生产规模为年产12英寸硅片360万片、制程尾气处理设备(LocalScrubber)800套、纳米级抛光垫6万片。
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