湖北集成电路制造公司高容值密度深沟槽电容制造工艺技术研发项目配套环保设施
项目介绍
湖北集成电路制造公司高容值密度深沟槽电容制造工艺技术研发项目配套环保设施位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是升级改造,企事业类;已到施工阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是主体开工,项目计划投资金额为35638-43079万元。
本项目利用深沟槽光刻、刻蚀,高介电常数介质沉积和多层重布线一系列工艺技术,打造更高电容密度,更低漏电流,更高击穿电压和不同频率和电压下更稳定电容值的高容值密度深沟槽电容产品,推进国内深...
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