河南某公司半导体用硅烷项目配套环保处理设施
项目介绍
河南某公司半导体用硅烷项目配套环保处理设施位于河南洛阳，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到环评阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是环境影响评价，项目计划投资金额为7721-9334万元。
本项目建设一条年产 1000 吨半导体用高纯硅烷产品生产线，以工业级三氯氢硅为原料，采用三氯氢硅歧化法生产工艺生产电子级高纯硅烷产品（产品指标≥6N），主要工艺流程：原料三氯氢硅依托一期工程已建的 3 套硼磷吸附装置进行吸附净化后进入三氯氢硅精制塔，精制后的三氯氢硅在 A21 大孔弱碱树脂催化剂作用下发生歧化反应，经脱轻塔和产品塔精馏提纯后得到电子级硅烷（SiH4）产品，同时副产四氯化硅（SiCl...
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