河南某公司半导体用硅烷项目配套环保处理设施
项目介绍
河南某公司半导体用硅烷项目配套环保处理设施位于河南洛阳,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价,项目计划投资金额为7721-9334万元。
本项目建设一条年产 1000 吨半导体用高纯硅烷产品生产线,以工业级三氯氢硅为原料,采用三氯氢硅歧化法生产工艺生产电子级高纯硅烷产品(产品指标≥6N),主要工艺流程:原料三氯氢硅依托一期工程已建的 3...
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