上海某公司集成电路制造前道设备研发和生产项目配套废气处理设施
项目介绍
上海某公司集成电路制造前道设备研发和生产项目配套废气处理设施位于上海临港新片区,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价,项目计划投资金额暂未确定。
本项目是新上联半导体落地上海临港的高端半导体设备研发及生产项目,将开展半导体制造快速热氧化/快速热退火/等离子氮化设备的研发及生产。项目建成后将填补国内快速热制程类设备的空白,推动临港新片区在集成电路...
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