上海某公司新建芯片研发生产基地项目配套废气处理设施

本项目主要改扩建内容如下：（1）调整部分区域平面布置。在目前空置的 4#厂房东区以及西区部分区域增加生产设备，用于新增波导片产能 600 千片/年、新增晶圆级光学芯片研发 1200 片/年。（2）进一步改进波导片生产工艺。新增边缘处理工序，光刻、刻蚀、清洗工序新增原辅料种类，增加设备清洗、增加刻蚀后清洗、最终清洗纯水用量及冲洗时间。（3）本次新增的设备配套单独的废气收集处理设施，即东区有机废气处理...