新型复合材料研发及量产项目

主要利用现有厂房及原有动力设施对局部厂房进行改造升级，建设12英寸SOI晶圆特色工艺产线，项目主要工艺包括氧化、离子注入、键合、退火、剥离、外延平滑、减薄抛光、清洗及检测，配置主要生产工艺设备69台（套），建成后形成12英寸SOI晶圆2万片/月生产能力。本项目不涉及国家和天津市限制类和淘汰类相关的生产能力和工艺产品。