半导体特种气体及前驱体材料项目A
项目介绍
半导体特种气体及前驱体材料项目A位于湖北荆州，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为27300-33000万元。
一期年产255吨（PH3、MoO2Cl2、GeF4）。二期年产879吨（DEMS、α-松油烯、BF?、五氟丙烯、OMCTS、TSA、CpHf、CpZr、PDMAT、SiD4、TEPO、TEB）。三期年产140吨（DIPAS、HfCl4、ZrCl4、La(FAMD)3、CCTBA、锗烷）。
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