湖南天羿领航MEMS硅基真空计研制项目

拟在长沙经济技术开发区东六路科技新城新建“MEMS硅基真空计研制项目”研制产线，主要购置高速激光设备、磁控溅射镀膜机、全自动引线机、金属刻蚀清洗机、表头筛选分类仪等生产设备，检漏仪、高低温转台、老化温箱等测试设备，平行封焊台、64位真空排气台等封装设备。预计年生产高性能MEMS硅基真空计10000轴/年，年产值约2000万元。