硅晶圆精抛硅溶胶扩建项目

占地8.8亩，主要建设超净间厂房、普通甲类厂房及配套公辅设施，购置国产设备42台，引进进口设备9台。共设计4t反应釜20个，10t一级蒸馏釜8个，3t二级蒸馏釜4个，原材料储罐若干（以上所以设备安装在千级超净间内），新建年产1万吨硅晶圆精抛硅溶胶生产线（产品不属于危化品）。