单晶拉晶生产线热场及干泵设备技改项目

项目拟对现有单晶拉晶生产线核心环节进行设备更新与技术升级，通过增补购置22000L/min提升至72000L/min，以满足低氧拉晶工艺对低炉压、大氩气流量的工况要求，将炉压从10Torr降低至5Torr。项目改造完成后，可实现降低功率消耗以及提高产品质量的目标。