江西某公司研发清洗设备项目配套环保处理设施
项目介绍
江西某公司研发清洗设备项目配套环保处理设施位于江西南昌,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为728-880万元。
计划总投资800万元,在原有刻蚀研发洁净室建设酸碱清洗实验室,购买3台酸碱清洗设备,主要有酸洗(硫酸&双氧水、氢氟酸)、EKC清洗等工艺,用于晶圆表面清洗。另外配套相应的环保措施(如EKC挥发...
🔑 请登录 查看完整项目信息(联系人、环评、进展、附件等)