江西某公司研发清洗设备项目配套环保处理设施

审批江西南昌更新：2023-11-09 07:00:46

项目介绍

江西某公司研发清洗设备项目配套环保处理设施位于江西南昌，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为728-880万元。

计划总投资800万元，在原有刻蚀研发洁净室建设酸碱清洗实验室，购买3台酸碱清洗设备，主要有酸洗（硫酸&双氧水、氢氟酸）、EKC清洗等工艺，用于晶圆表面清洗。另外配套相应的环保措施（如EKC挥发废气收集过滤排放，酸性挥发废气收集、废液浓液收集装置）和安全措施（二氧化碳灭火系统、GMS系统等）。
建设单位：南昌中微半导体设备有限公司

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