离子注入技术研究中心与协同验证体系建设项目

项目拟在公司拟租赁的生产经营场地实施。项目拟通过搭建离子注入设备零部件国产化导入验证平台和离子注入装备技术协同验证平台，聚焦离子源稳定性、束流精密控制等离子注入装备共性基础技术进行深耕，着力突破制约设备性能提升的关键环节。该项目资金来源为项目单位自筹，不使用财政资金，固定资产投资4，220万元，包括场地投资120万元，设备及软件投资4，100万元。该项目不涉及集成电路生产制造。