磷化铟基光电器件创新平台

审批河南郑州更新：2026-09-28 07:00:29

项目介绍

磷化铟基光电器件创新平台位于河南郑州，属于机械电子电器类项目[电子电器]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为16380-19800万元。

本项目为磷化铟基光电器件创新平台建设项目，由墨子实验室牵头，中科纳微科技（深圳）有限公司拟设郑州公司共同实施。建设地点位于河南省郑州市中原量子谷一号楼一层超净实验室，依托现有约3000平方米超净实验室建设。项目以金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）、电子束光刻系统（EBL）、晶圆键合系统三台（套）关键设备为核心，构建覆盖外延生长、掺杂扩散、微纳图形化、晶圆级键合先进封装的完整工艺链，形成光电器件...

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