空间型原子层沉积系统设备及工艺应用研发

项目基于青岛思锐智能科技股份有限公司(以下简称“思锐智能”)，在已建成的半导体先进装备研发制造中心一期研发车间中进行设施改建，提供400平方米的研发区域，结合相应的软硬件配套设施(供水、供气、供电等)，开展空间型原子层沉积系统设备及工艺应用研发相关研究。项目建设周期3年，投资3000万元，项目资金主要用于研发零部件采购及研发费用支持等，并形成该机型量产产线一条，完成该类设备的国产自主可控。项目针对...