佳芯半导体微纳装备研发及成果转化项目

项目规划建设研发中试场地10000平方米（含高等级净化试验区域6000平方米）、研发办公用房2000平方米。项目投资主要用于场地改造、净化试验区域及配套工程建设，开展高端半导体微纳装备技术攻关、试验验证与技术迭代，采购研发试验精密设备、配套零部件。项目建成后开展系列国产半导体微纳装备研发与样机试制；一期实施成熟型号装备产业化落地，建成达产后形成年产50台套装备能力，产品可供应国内半导体制造企业，预...