半导体生产用尾气处理及提纯循环系统生产项目

项目总投资1.2亿元，拟租赁开发区长三角一体化产业园厂房，新购激光切割机、数控加工中心、焊接机器人、喷涂线、氦质谱检漏仪、PSA测试平台、膜分离测试系统、自动化装配线等设备，新建半导体生产用尾气处理及提纯循环系统生产线，主要生产半导体尾气处理设备、气液回收提纯设备及核心零部件等。