湿法设备核心零部件配套项目

本项目计划建设高温硫酸湿法化学品泵研发、生产及测试基地，重点面向集成电路、功率半导体、先进封装及显示面板等领域的湿法工艺设备需求，开发和产业化高温硫酸湿法化学品泵产品，实现关键零部件国产化替代。项目主要建设内容包括：1. 建设高温硫酸湿法化学品泵研发实验室；2. 购置加工设备、检测设备、性能测试平台及可靠性验证等各类型设备；3. 建设高温强腐蚀介质循环测试平台；4. 建立产品性能测试、寿命验证及质...