新型半导体功率器件技术改造项目
项目介绍
新型半导体功率器件技术改造项目位于山东青岛,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是备案,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为27796-33600万元。
利用原有厂房,扩建一条半导体功率器件生产线1条,购置半导体功率器件生产设备79台,包含注入机3台,光刻机2台,腐蚀机4台及其他半导体功率器件生产及检验设备,项目达产后,可形成年产6寸晶圆半导体功率器件240万片的生产能力。该项目属于6寸硅基晶圆制造项目,不属于国家窗口指导范围。
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