半导体特种气体及前驱体材料项目（二期）
项目介绍
半导体特种气体及前驱体材料项目（二期）位于湖北荆州，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为9100-11000万元。
新建年产二乙氧基甲基硅烷、α-松油烯、扩建三氟化硼各200吨；五氟丙烯100吨；八甲基硅醚、TSA各50吨；环戊二烯基三（二甲氨基）铪、环戊二烯基三（二甲氨基）锆各30吨；五（二甲氨基）钽10吨；氘硅烷、TEPO、TEB各3吨产线及配套装置。
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