半导体特种气体及前驱体材料项目

审批湖北荆州更新：2026-09-21 07:00:06

项目介绍

半导体特种气体及前驱体材料项目位于湖北荆州，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为45500-55000万元。

新建年产二乙氧基甲基硅烷、α-松油烯、砷烷、扩建三氟化硼各200吨；磷化氢150吨；二氯二氧化钼、五氟丙烯、二异丙氨基硅烷各100吨；四氯化铪、四氯化锆各50吨；三（N,N，-二异丙基甲脒）镧20吨；二钴六羰基叔丁基乙炔10吨；扩建四氟化锗5吨；氘硅烷、TEPO、TEB各3吨产线配套装置

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