半导体芯片制造设备用高精度铂铑R型热电偶研发及制造项目

利用现有1600㎡生产厂房，建设约 250㎡千级洁净组装车间及研发、生产、检验、仓储等功能配套功能区域；购置温度校正系统、石英车床、层流台、热处理设备、光学量测仪等研发及生产设备20余台（套），建设面向半导体高温工艺设备的高精度铂铑热电偶研发及规模化生产能力。项目一期投产后，预计可实现年产R型铂铑热电偶约2500件，预计年产值约6000万元。