半导体热处理核心设备与精密配件生产加工项目
项目介绍
半导体热处理核心设备与精密配件生产加工项目位于山东潍坊,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为3185-3850万元。
项目位于寿光市稻田镇,利用现有生产车间及配套辅助设施,购置数控车床、数控加工中心等加工设备,项目建成后年加工半导体用扩散设备100台、半导体用加热炉体200台、半导体用石英制品500套、RTP快速退火设备20台、外延炉设备20台、不锈钢、SIC、陶瓷等备件200套。本项目不属于《产业结构调整指导目录(2024年本)》中限制类及淘汰类项目。
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