高端装备领域碳化硅产品设备更新改造升级项目

本项目依托现有厂房实施高端装备领域碳化硅产品生产装备迭代升级，淘汰高温真空烧结炉、冷却塔、滑阀真空泵、普通铣床磨床等工艺性能落后的老旧设备26台（套）。拟购置无压烧结碳化硅电炉、烟气净化炉、螺杆真空泵、五轴加工中心、卧式加工中心、高精度龙门磨床、海克斯康龙门式三坐标测量机等国产先进设备共计30台（套），作为本产线工艺配套，同时对现有部分设备进行工艺升级，不新增独立机加工产能，实现碳化硅制品烧结、精...