山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目三期

本项目在现有厂区内利用已建厂房预留区域进行建设，不涉及新增建设用地。项目扩建总建筑面积12169平方米，占地面积4647平方米。主要建设内容为：建立洁净系统及硅片生产车间，新增工艺设备368台(套)，在现有月产15万片基础上扩产至月产30万片规模；标准煤年综合能耗总量:3564tce（当量值）；该项目工艺及设备不属于《产业结构调整指导目录》(2024年版)的淘汰类和限制类。