功率半导体晶圆制造大数据良率分析平台项目
项目介绍
功率半导体晶圆制造大数据良率分析平台项目位于陕西西安,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为637-770万元。
整合产品数据分析与工艺控制能力,面向功率半导体晶圆产线建设全流程良率管控平台。对接MES、测试、WAT、缺陷检测及工艺设备多源数据,实现良率溯源、SPC质量管控、工艺参数关联分析与工艺调节优化,解决数...
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