先进微纳器件生产线升级改造项目

依托河南微纳半导体科技有限公司现有生产基础，开展产线设备更新、技术改造及改扩建，购置光刻机、刻蚀机、磁控溅射台、精密检测核心装备等设备，升级生产管控与工艺仿真软件，改造原有设施工艺，建设 8 英寸先进微纳器件制造产线。项目实施后升级企业现有加工能力，可开展微纳器件工艺开发、样品试制与小批量生产，提升生产高端化、智能化水平，补齐区域产业链短板，打造技改示范项目，支撑西工区制造业转型升级试点区创建。 ...