3D·NAND制造用光刻材料关键上游原材料的开发及产业化
项目介绍
3D·NAND制造用光刻材料关键上游原材料的开发及产业化位于湖北恩施土家族苗族自治州,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为6370-7700万元。
购置电子显微镜、反应釜等研发及生产设备,完善配套设施,完成ArF光刻胶及其淬灭剂的相关产线建设,具备ArF光刻胶及其淬灭剂的批量生产能力。
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