高端电子工艺核心装备研发制造智能化改造升级项目

项目紧扣电子工艺装备研发与制造高端化、智能化、绿色低碳三大发展方向，立足公司现有电子工艺装备研发制造基础，对原有研发试验、生产配套设施设备开展数智化提档升级，重点淘汰生产技术落后、自动化程度低、能耗高的生产、检测类老旧设备，新增膜厚测试仪、色差仪/超声波清洗机、氦检仪等精密检测仪器和　LPCVD、ALD等核心工艺专用镀膜智能装备，并配套智能制造管理以及安全管控等软硬件设施设备，升级国产核心工艺设备...