应用于大模型推理的存算垂直集成芯片技术研发与产业化
项目介绍
应用于大模型推理的存算垂直集成芯片技术研发与产业化位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为3640-4400万元。
(1)超薄晶圆减薄CMP设备研发。(2)ALD薄膜沉积设备研发。(3)工艺开发与验证。(4)中试与产业化能力建设。
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