沈阳盈芯半导体科技有限公司电柜研发生产项目

本项目租用东软医疗系统股份有限公司厂房（租赁建筑面积4310.41平方米），建设半导体电柜研发基地和生产车间，购置研发测试类仪器设备、工具工装、搭建生产流水线等，用于半导体电柜等相关设备的工艺研发、生产及测试使用，满足国内芯片生产设备零部件的国产化及定制化需求。