宏量粉体ALD仪器产业化项目
项目介绍
宏量粉体ALD仪器产业化项目位于安徽合肥，属于建筑房地产类项目[厂房]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为9100-11000万元。
1.项目利用租赁场地建设10公斤级粉末ALD设备研发区、整机装配调试区、四大粉体工艺中试试验区、检测实验室；开展粉末ALD专用沉积设备整机研发、结构优化、零部件测试、样机装配与性能调试；2.项目建设周...
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