宏量粉体ALD仪器产业化项目
项目介绍
宏量粉体ALD仪器产业化项目位于安徽合肥,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为9100-11000万元。
1.项目利用租赁场地建设10公斤级粉末ALD设备研发区、整机装配调试区、四大粉体工艺中试试验区、检测实验室;开展粉末ALD专用沉积设备整机研发、结构优化、零部件测试、样机装配与性能调试;2.项目建设周期为:2026年10月至2028年9月。
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