大口径半导体玻璃晶圆衬底片暨半导体掩模版加工项目
项目介绍
大口径半导体玻璃晶圆衬底片暨半导体掩模版加工项目位于安徽滁州,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价拟审批公示,项目计划投资金额为29120-35200万元。
项目拟投资32000万元,占地约45亩,规划总建筑面积约4.5万平方米,建设生产厂房、研发中心、中试基地及仓储物流中心等,拟购置双面抛光设备、环抛设备、超声波大口径清洗设备、激光干涉仪、影像干涉仪等设...
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