半导体尾气处理项目

建设内容：国际领先国产自主可控的高端半导体尾气处理设备与综合解决方案。项目租赁厂房约2550平方米，建设半导体工艺尾气处理设备生产线，涵盖电磁加热水洗、LNG红外燃烧、等离子水洗、干式吸附、纯水洗、无水混合式六条技术处理路线。项目全面达产后，形成年产半导体尾气处理设备1200台（套）的产能。