半导体外延设备工艺能力提升技术改造项目
项目介绍
半导体外延设备工艺能力提升技术改造项目位于安徽南谯经开区,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是改扩建,市政类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为26390-31900万元。
针对外延设备集群实施技术改造,主要开展设备腔室、加热温控、真空传输、工艺气路等硬件升级改造,同步实施水、电、洁净环境等厂务公用工程适配优化,提升外延片生产良率与工艺稳定性。我司承诺在取得环评、能评、安...
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