磷化铟衬底中试线

项目总投资10000万元，购置磷化铟衬底及多晶的研发、中试及检测设备；项目主要产品为磷化铟衬底，其中磷化铟衬底月产能1000片，多晶月产能2吨；主要设备包括单晶生长炉、多晶合成炉、切片机、研磨机、抛光机等。