诸暨晶丰恒曜半导体材料有限公司年产30万片6英寸磷化铟衬底片项目
项目介绍
诸暨晶丰恒曜半导体材料有限公司年产30万片6英寸磷化铟衬底片项目位于浙江绍兴,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额暂未确定。
项目主要采用多晶切洗→多晶装料→单晶生长→晶棒加工→切片→晶片磨边→背面研磨→主面减薄→晶片腐蚀→晶片粗抛→平整度检测→晶片精抛→晶片检测→晶片清洗→晶片检测→包装出货的全流程工艺路线,引进具有国际先...
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