诸暨晶丰恒曜半导体材料有限公司年产30万片6英寸磷化铟衬底片项目

项目主要采用多晶切洗→多晶装料→单晶生长→晶棒加工→切片→晶片磨边→背面研磨→主面减薄→晶片腐蚀→晶片粗抛→平整度检测→晶片精抛→晶片检测→晶片清洗→晶片检测→包装出货的全流程工艺路线，引进具有国际先进水平的MeyerBurger内圆锯、奥林巴斯金相显微镜、英斯特朗晶片强度仪等设备，购置高压HGF磷化铟多晶合成炉、高压VGF单晶炉-6英寸、X射线晶体定向仪、全自动激光打字机等国产设备。项目建成后形...