安徽某公司高纯电子气体新材料项目配套废气处理设施

项目拟建于合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角，主要建设内容为生产车间及配套辅助、储运、公用、环保工程，建设电子气提纯生产线、准分子激光气体混配生产线、电子气分装生产线、半导体级高纯气体纯化器生产线和超洁净钢瓶处理线，项目建成投产后可形成高纯三氟化硼（BF3）提纯年产300吨；超纯四氯化硅（SiCl4）年产300吨；准分子激光气年产28000瓶；高纯氧气（O2）分装年产1000吨；...