高端半导体原子层沉积装备中试及共性技术研发平台项目

拟建项目系租赁位于包公大道1号瑶海都市科技工业园（长三角数字科技示范园）14号楼1层、11号楼16层北侧的工业用房，租赁总建筑面积1909 m2，其中14号楼1层为生产区，11号楼16层北侧为办公区。主要建设原子层沉积设备装配车间、万级洁净度的出机测试区以及办公、仓储、成品储存、配套环保设施等。建成后年产100台套高端半导体原子层沉积装备。