面向新兴市场的智能传感器产能结构优化升级项目

本项目不新建产线，在现有MEMS传感器芯片制造工艺平台上，通过购买光刻机、匀胶显影机、键合机等进口设备18台（套），购置缺陷扫描仪、超声波扫描仪等国产设备30台（套），合计48台（套）设备，形成年产2.4万片具有国际先进水平用于汽车电子、AI数据中心及高端消费领域的8英寸惯性传感器、压力传感器、时钟器芯片的生产能力。本项目是对原生产线产能结构优化升级，不新增产能。