自着色树脂、染料型显示光刻胶及金属基EUV光刻胶研发实验室研发项目

拟在柯桥科技园起航楼5号楼与实验楼，建设总面积t2741.25㎡的研发场地，其中实验室面积1951.25㎡，包含共聚合成实验室，显示光刻胶着色剂合成实验室，超分子改性实验室，以及金属有机合成实验室，仪器测试室，一间万级洁净间，一间千级洁净间，配套储藏室、危废仓库、烘箱房、供气室等。项目建成后，将形成高性能自着色聚合物树脂合成测试、显示光刻胶着色剂合成测试，超分子改性合成评价，金属基EUV光刻胶合成...